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长兴凯翔电炉科技有限公司

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退火炉有哪些结构组成?

2020-07-18

退火炉是用于制造半导体器件的过程,该过程涉及加热多个半导体晶片以影响其电性能。 热处理旨在达到不同的效果。 可以加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转变成薄膜,或者将薄膜转变成晶片衬底界面,制成致密沉积的薄膜,改变生长薄膜的状态,注入损伤,移动掺杂剂 或移动掺杂剂将试剂从一层膜转移到另一层,或从膜转移到晶圆基板。

热处理炉分为退火炉,淬火炉,回火炉,正火炉和回火炉。 它们主要用于大型碳钢和合金钢零件的退火; 表面硬化零件已回火; 用于应力消除退火,时效和焊接零件的其他热处理工艺。 加热方法包括电加热,石油,天然气,煤炭和热空气循环。 退火炉是一种新型的热交换设备。 退火炉是一种具有超节能结构和纤维结构的节能定期操作炉,可节电60%。

退火炉框架由各种钢材焊接而成,外部框架由槽钢作为主梁,外围板由冷板和小车组成。

槽钢用作主梁,底板以及前后板为中间板。

退火炉的驱动部分:小车由电动机和减速器驱动,前轮驱动轮由链条驱动。 炉门由蜗轮蜗杆减速器和电动机组合驱动,以上下移动。

密封:小车和炉体密封成迷宫式结构,小车两侧都有自动防砂刀密封装置。 炉门密封采用辊压和弹簧压紧的自动机构。 炉体采用耐火砖结构,确保炉腔的气密性。 手推车的耐压部分使用高铝砖,下部使用隔热砖进行保温。

退火炉燃烧系统:在油炉的两侧安装了多个燃烧器,热量在炉内循环以确保均匀的炉温。 根据需要选择自动类型和半自动类型。

排气预热装置:排气预热装置安装在炉子的上端。 当炉内的烟气通过预热器时,将风扇送至冷空气进行预热,然后将管道送至燃烧器进行燃烧支撑,并在出口处安装一个手动蝶阀,该蝶阀可调节 炉压力。 它广泛用于化学,石油,食品,冶金,机械,轻工,电力,造船,造纸,采矿,医药和集中供热行业的加热,冷却,冷凝,蒸发和其他过程。

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退火炉

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