操作者应遵守台车式退火炉，退火热处理的操作规程，仔细检查仪表、热电偶、电气设备接地是否完好；上海半导体外延生长炉如发现电线隔缘皮有破损，定要立向车间领导报告阻止发生触电事故上海半导体外延生长炉检查加热元件是否损坏，连接之间的接触是否良好，炉底板及电阻丝是否完好，是否与炉体和壳体接触。检查温度控制系统中是否有异常现象。检查炉门升降情况，台车运行正常。严禁腐蚀性、挥发性和爆裂性气体进入台车式退火炉的炉体进行加工，以免影响退火炉的发热元件和耐火材料的使用寿命，并引起爆裂事故。转向架烘箱不应越过温度，否则会缩短设备的使用寿命。在清洁炉之前，从转向架上除去太多的氧化物。

采用新型的燃烧技术，如脉冲燃烧技术、高温空气燃烧技术、富氧燃烧技术等。上海半导体外延生长炉脉冲燃烧技术是近年来开发的一项行之有效的降低氮氧化合物的技术，烧嘴采用间断燃烧的方式，一旦工作，就处于满负荷状态。上海半导体外延生长炉当需要升温时，烧嘴燃烧时间加长，间断时间减少；需要降温时，烧嘴燃烧时间减少，间断时间加长。通过调节燃烧时间的占空比实现窑炉的温度控制，燃料流量可通过压力调整预先设定，无需在线调整，即可实现空气过剩系数的控制。故脉冲燃烧技术传热效率高、能耗低、炉内温度场均匀性好，这些均有利于减少氮氧化合物的生成。

一般来讲，钼棒连续使用比断续使用寿命要长得多，这是因为在硅钼棒冷却过程中损坏大。上海半导体外延生长炉如果当电热装置停止工作，应当保持装置处于热状态上海半导体外延生长炉硅钼棒运行的环境，硅钼棒在氧化环境如空气、氧、水汽或二氧化碳中时，硅钼棒元件的寿命长，若硅钼棒由于氧化层在冷却时轻易剥落，使用前必须把元件重新氧化一次硅碳棒会随着温度变高，表面的氧化速度会越快，寿命会越短！在使用的过程中，尽量选择并联，这样可以避免由于电阻负荷集中，造成损坏的情况

该炉是供金属机件、环件等在额定的温度下进行热处理设备简介：本炉是由炉体与一个可移动的炉盖及控制系统组成。炉体外壳采用型钢及钢板焊接而成。上海半导体外延生长炉炉盖支撑采用型钢和导轨组合移动式。元件采用北京首钢产的高电阻合金0Cr25Al5布置在炉侧。炉底由于承重采用高铝砖砌筑，炉子中心采用大圈套小圈做法，里外加热。上海半导体外延生长炉炉盖采用液压升降，电机控制自动行走。温控系统采用PID可控硅控制，精度高。

操作保员到岗后服装方面应正确穿戴劳保用品。操作退火炉设备前检查推拉杆机构、炉门升降机构、传动装置是否良好，看炉内有无障碍物，箱是否放正确，有无漏电等。随时注意和检查炉温与仪表读数是否相符。上海半导体外延生长炉锻件在底盘上要摆放整齐，如果锻件掉在电炉丝旁，应停电取出，同时，在炉门上挂禁止合闸警示牌。上海半导体外延生长炉使用行车吊运物料工件过程中，应做到十不吊的规章制度。要加工或处理后的工件定点存放，不得占道，影响车间秩序。遵循5S标准来合理生产。

燃料种类：与燃料热值及燃烧的产物量有关，热值越高、燃烧产物量越低，燃烧温度越高。上海半导体外延生长炉燃料和助燃空气的温度：它们的温度越高，直接带入的显热越多，可提高燃烧温度。上海半导体外延生长炉空气过剩系数：适当的空气过剩系数，可以保证有较高的燃烧温度。一般α略大于1过小，不完全燃烧；过大生成的烟气量多，会使燃烧温度降低助燃风中氧气的浓度：提高氧气浓度，将使燃烧产物减少，可以提高燃烧温度。炉体散热状况及炉内产品传热速度。