调节阀可参考其关联温度判断设备是否工作正常。若出现故障，先关闭电源控制柜内其工作电源，打开现场阀盖，在确认阀内模块不带电的情况下，用内六方扳手旋转阀体。淮安半导体外延生长炉若旋转感觉很卡，则为机械故障，若感觉旋转顺畅，则为电气故障。淮安半导体外延生长炉模拟量部分此处模拟量指温度、压力和流量等。除空气总管压力和煤气总管压力外，其余模拟量不参与控制。

将工件完全奥氏体化后缓慢冷却，接近平衡组织的退火。完全退火奥氏体化温度一般选为Ac3加三十摄氏度到五十摄氏度，对于某些高合金钢，为使碳化物固溶应适当提高奥氏体化温度。为了改善低碳钢的切削性能，可采用九百摄氏度到一百摄氏度的晶粒粗化退火。为了消除亚共析钢锻件、铸件、焊接件的粗大魏氏组织，需将奥氏体化温度提高到一千一百摄氏度到一千两百摄氏度，随后补充进行常规完全退火。 

故障出现后，监控主画面上方会出现报警提示，根据提示内容可初步判定故障设备，报警具体如下：V101阀位报警、V105阀位报警加热段煤气换向报警加热段空气换向报警、保温段煤气换向报警、保温段空气换向报警。淮安半导体外延生长炉其中，V101阀即加热段煤气快切阀，V105阀即保温段煤气快切阀。每一设备由动作部分和阀位反馈部分组成。动作部分由电磁阀带气动元件发生动作。淮安半导体外延生长炉出现上述报警后，首先查看报警设备在监控主画面上显示的颜色，确定其状态。

箱式退火炉主要用途：主要用钢制工件的淬火、正火、退火等常规热处理之用的专用设备。淮安半导体外延生长炉箱式退火炉特点：电炉装载量大、生产率高，特别适用于小、中型机件的热处理加热用，节能达30%，炉温均匀，智能数显表PID自动控制炉温，精密高；电炉装御料方便，操作条件好；炉门与炉体的密封为自动密封，无需人工密封；淮安半导体外延生长炉电炉设有连锁保护装置，可防止因误操作而发生的故障及事故。