退火炉采用金属热处理退火工艺，将金属缓慢加热到一定温度，保持足够时间，然后以适宜速度冷却。沈阳半导体外延生长炉目的是降低硬度，改善切削加工性；消除残余应力，稳定尺寸，减少变形与裂纹倾向；细化晶粒，调整组织，消除组织缺陷。沈阳半导体外延生长炉使经过铸造、锻轧、焊接或切削加工的材料或工件软化，改善塑性和韧性，使化学成分均匀化，去除残余应力，或得到预期的物理性能。铸件在冷却过程中，积累了大量的内应力，要通过退火炉来消除内应力。

箱式回火炉外壳由国标钢板和型钢焊接制造，炉衬采用轻质高铝节能保温砖砌筑，结合硅酸铝纤维棉复合炉衬保温。沈阳半导体外延生长炉箱式回火炉的电热元件为长寿命设计、耐高温高合制成，布置在炉膛两侧和炉底。沈阳半导体外延生长炉炉门通过电动或液压升降，小型箱式回火炉也可使用手摇炉门，炉门开启时有断路保护装置停止送电加热。采用微电脑温度控制系统来高精度控制，回火工艺，全自动完成从进炉到出炉的回火热处理全过程。

台车式退火炉是通过热处理可以改变钢的组织结构，从而改善钢的性能。沈阳半导体外延生长炉热处理可以显著提高钢的机械性能，延长机器零件的使用寿命。沈阳半导体外延生长炉恰当的热处理工艺可以消除铸、锻、焊等热加工工艺造成的各种缺陷，细化晶粒、消除偏析、降低内应力，使钢的组织和性能更加均匀。台车式退火炉处理的均匀钢的化学成分及组织，细化晶粒，调整硬度，并消除内应力和加工硬化，改善钢的切削加工性能并为随后的淬火作好组织准备。生产上常用的退火操作有完全退火、等温退火、球化退火、去应力退火等。

炉壁保温衬里采用复合型耐温材料模块、全密封炉体配以进口高精度温控仪表为控制核心的集散式DCS系统, 相关各炉况参数均实现自动化模糊控制，可靠性高且运行稳定。沈阳半导体外延生长炉全炉密封效果好，与同类炉窑相比具有日常运行及后期维护成本低廉的优点。退火炉按热源分类主要有电热炉、燃煤退火炉、燃油退火炉、天然气退火炉、煤气退火炉等，其中以自备煤气发生炉所产煤气退火炉应用最广泛。煤气退火窑减去了燃烧室，直接利用煤气烧嘴在加热室喷射燃烧。沈阳半导体外延生长炉为了降低能耗，煤气退火窑往往配有换热系统，将空气转换为助燃热风进行煤气的助燃。

该炉是供金属机件、环件等在额定的温度下进行热处理设备简介：本炉是由炉体与一个可移动的炉盖及控制系统组成。炉体外壳采用型钢及钢板焊接而成。沈阳半导体外延生长炉炉盖支撑采用型钢和导轨组合移动式。元件采用北京首钢产的高电阻合金0Cr25Al5布置在炉侧。炉底由于承重采用高铝砖砌筑，炉子中心采用大圈套小圈做法，里外加热。沈阳半导体外延生长炉炉盖采用液压升降，电机控制自动行走。温控系统采用PID可控硅控制，精度高。

采用新型的燃烧技术，如脉冲燃烧技术、高温空气燃烧技术、富氧燃烧技术等。沈阳半导体外延生长炉脉冲燃烧技术是近年来开发的一项行之有效的降低氮氧化合物的技术，烧嘴采用间断燃烧的方式，一旦工作，就处于满负荷状态。沈阳半导体外延生长炉当需要升温时，烧嘴燃烧时间加长，间断时间减少；需要降温时，烧嘴燃烧时间减少，间断时间加长。通过调节燃烧时间的占空比实现窑炉的温度控制，燃料流量可通过压力调整预先设定，无需在线调整，即可实现空气过剩系数的控制。故脉冲燃烧技术传热效率高、能耗低、炉内温度场均匀性好，这些均有利于减少氮氧化合物的生成。