目前等直径硅碳棒的生产工艺有两种，老工艺与新工艺，区别方法在与从烧结方式上。安徽半导体外延生长炉老工艺采用的是埋藏反应烧结，新工艺采用的是高温真空炉烧结。由于埋藏烧制需要用煤，对环境有一定的污染，好多都已取缔，大多采用新工艺制作。安徽半导体外延生长炉比如在铝厂，玻璃厂，钒氮合金，反光材料产品烧结中会产生一定的腐蚀气体，老工艺比新工艺元件的耐腐蚀性要好。等直径硅碳棒元件是很高的纯度以碳化硅为主要原料，加入工业硅，碳粉等材料。经过成型，烘干，高温烧结等多道工序而制成的一种非金属棒状高温电热元件。

单位质量/体积的燃料完全燃烧，安徽半导体外延生长炉当燃烧产物冷却到燃烧前的温度时所放出的热量一般室温25摄氏度。安徽半导体外延生长炉依据燃烧产物中水蒸气包括燃料中所含水生成的水蒸气和燃料中的氢燃烧时生成的水蒸气的不同形态，分为两种发热量：高温发热量、低位发热量高位发热量高位热值：燃料完全燃烧，燃烧产物中的水蒸汽全部凝结为液态水时所放出的热量低位发热量低位热值：燃料完全燃烧，燃烧产物中的水蒸汽仍以气态存在时所放出的热量。

完全燃烧：燃料中的全部可燃成分在空气充足的情况下达到完全氧化，安徽半导体外延生长炉燃烧产物中没有游离的C及CO、H2、CH4等可燃成分。不完全燃烧：燃料中的可燃成分没有完全氧化，燃烧产物中尚存在一些可燃成分，如游离的C及CO、H2、CH4等。空气过剩系数：燃料完全燃烧需要供应一定量的空气。安徽半导体外延生长炉根据燃烧化学反应方程式计算出来的单位燃料完全燃烧时所需的空气量为理论空气量。实际供应的空气量一般大于理论空气量，称为实际空气量。实际空气量与理论空气量的比值称为空气过剩系数。一般气体燃料的空气过剩系数为1.05到1.15。

操作管理混乱，经验不足。安徽半导体外延生长炉一是装料制度变更频繁，且针对性不强，尤其是中心焦炭没有保证；二是炉温控制偏低且波动较大，铁水温度长期在一千四百五十摄氏度以下，硫超标事故经常发生；安徽半导体外延生长炉三是日常操作三班不统一且表现为；风量、风压不统一，有的班开得高，有的班开得低，顶压不统一，压差波动大，料线不统一，手动控制比较多，炉料落点难以规范，无规律性；四是退火炉工艺管理粗放，考核不到位，高炉的各项管理精细化程度不够，制度执行不力。

等温式退火是应用于钢和某些非铁合金如钛合金的一种控制冷却的退火方法。安徽半导体外延生长炉对钢来说，是缓慢加热到 Ac3亚共析钢或 Ac1共析钢和过共析钢以上不多的温度，保温一段时间，使钢奥氏体化，然后迅速移入温度在A1以下不多的另一炉内，等温保持直到奥氏体全部转变为片层状珠光体亚共析钢还有先共析铁素体；安徽半导体外延生长炉过共析钢还有先共析渗碳体为止，最后以任意速度冷却下来通常是出炉在空气中冷却。